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 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展，電子產(chǎn)品都往小型化，輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出，穿戴電子產(chǎn)品成為了一個(gè)新的電子設(shè)備應(yīng)用潮流。隨著電子產(chǎn)品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對(duì)器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對(duì)檢測(cè)手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸，現(xiàn)在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級(jí)別，這就需要一個(gè)高速、高精度的測(cè)量手段來管控生產(chǎn)品質(zhì)。

卓立漢光的3D形貌測(cè)試儀應(yīng)運(yùn)而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù)，能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu)，對(duì)肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測(cè)。因?yàn)榫哂休^快的掃描速度，微米級(jí)別的精度和超強(qiáng)的穩(wěn)定性，一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密鑄件、精密點(diǎn)膠、3D玻璃，半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)和多層光學(xué)薄膜厚度檢測(cè)，就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。

 

卓立漢光長期專注于光譜技術(shù)的應(yīng)用研發(fā)，3D形貌測(cè)試儀就是常年實(shí)踐積累的成果（利號(hào)：CN207556477U）。該項(xiàng)技術(shù)，具有以下優(yōu)點(diǎn)：

技術(shù)	線性共焦光譜技術(shù)	點(diǎn)測(cè)技術(shù)	激光掃描	3D相機(jī)
速度	1000 line/s	1000 point/s	1000 line/s	多角度拍照快
掃描寬度	6.5mm/20mm	點(diǎn)	可選	大
分辨率	1um	1um	30um	100um
界面層數(shù)	多層	多層	表面	表面
建模	否	否	否	是
數(shù)據(jù)量	大	大	少	少

 

三維表面形貌測(cè)量?jī)x主要特點(diǎn)有：

1、非接觸性測(cè)量；

2、線掃描，高效率；

3、微米級(jí)精度；

4、滿足透明面及高對(duì)比度表面測(cè)試；

5、支持二次開發(fā)；

 

3D形貌測(cè)試儀主要應(yīng)用

1、精密部件3D尺寸及段差測(cè)試；

2、精密點(diǎn)膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測(cè)試；

3、3D玻璃缺陷檢測(cè)；

4、半導(dǎo)體表面缺陷測(cè)試；

5、多層薄膜厚度測(cè)試；

 

3D形貌測(cè)試儀產(chǎn)品型號(hào)及規(guī)格

	HawkEye-1300	HawkEye-5000
方式	共焦光譜	共焦光譜
精度	1um	8um
重復(fù)性	±0.3um	±4um
線掃寬度	6.5mm	20mm
Z軸量程范圍	1.3mm	5mm
掃描速度	300line/s(Max:1000line/s)	300line/s(max:1000line/s)
重量	5Kg	8Kg
尺寸	460X300X140mm	460X300X140mm