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飛秒微加工系統(tǒng)
詳細信息| 詢價留言飛秒微加工系統(tǒng)方案
激光的發(fā)明加快了人類文明的進步。激光以其高相干性,高能量等特點,使其已經(jīng)廣泛應用于人類生活的各個領域,例如激光焊接,激光測距,激光雷達等等。其中激光加工也是一個重要領域。傳統(tǒng)的激光加工一般使用納秒量級脈沖激光或是像CO2激光(10.6um)這樣的強激光,隨著飛秒激光的逐漸普及,使用成本逐漸降低,使用飛秒激光作為加工光源也越來越受到關注。
飛秒激光加工的特點主要有:
1,飛秒激光脈沖與材料相互作用時間在一個非常短的時間(飛秒量級),因此可以實現(xiàn)材料的冷加工,
2,飛秒激光可以聚焦到透明材料的內(nèi)部,實現(xiàn)真正的三維微加工,
3,超快激光可以使材料發(fā)生多光子吸收,可以突破光學衍射極限進行加工,
飛秒微加工的研究領域:
- 可用于飛秒3D打印,雙光子聚合等加工技術。
- 可用于切割,打孔,燒蝕,表面微結構等加工技術。由于飛秒激光持續(xù)時間很短,可以在易碎易燃材料上獲得高質量的燒蝕形貌
- 用于材料的內(nèi)部改性處理。例如用飛秒激光在玻璃內(nèi)部進行光波導直寫,光存儲以及新相材料的制作
飛秒激光直寫加工系統(tǒng)一般根據(jù)制作方式可分為基于掃描振鏡方式和基于樣品位移臺兩種。掃描振鏡的方式其優(yōu)點在于加工精度很高,但是加工的范圍有限
基于樣品位移臺的則可以分為:1,使用高質量三維壓電位移臺,可以獲得亞納米級別的精度,范圍可以到幾百微米。2,使用高質量的電機驅動的直線氣浮平臺。其優(yōu)點在于移動范圍可以達到幾厘米。
卓立漢光基于多年的顯微拉曼熒光系統(tǒng),結合高功率飛秒激光,推出飛秒激光直寫加工系統(tǒng)!
圖2:顯微系統(tǒng)簡圖
飛秒激光推薦方案:
激光器中心波長:1030nm,
輸出功率: >=20W@ 50-200KHZ, >400uJ@1-50KHz,
脈寬:<290fs ;一體化免維護設計;
三維位移臺推薦方案:
室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程掃描載物臺 — 精密光學,半導體表征
⼤范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY產(chǎn)品特⾊
• 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um;
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm;
• *⼤負載 500 g;
• 針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決⽅案;
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)選件升級
Carrier.S200.XY ⼤范圍壓電掃描臺 — 技術參數(shù)
可選版本 ⇨
正常版本
.NM 絕對⽆磁版本;
.HV, ⾼真空版本 ;
.UHV ,超⾼真空版本;
1 底⾯尺⼨*⾼度
180 mm × 150 mm × 20 mm
2 主體材料
鋁合⾦
3 中空透孔
80 mm × 60 mm
4 運動⾏程
200 um × 200 um
5 閉環(huán)分辨率
優(yōu)于1nm
6 推薦*⼤負載
500 g
7 閉環(huán)傳感器
電容式
8 電容精度
0.3 nm
9 壓電電容(X, Y)
6.5 uF
15 到 40 攝⽒度
10 推薦使⽤溫度
11 質量
1 kg
12 安裝
螺紋孔⾃動兼容 Carrier.L7550.XY
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