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大范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY
詳細信息| 詢價留言室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程掃描載物臺 — 精密光學，半導體表征
⼤范圍壓電掃描臺Carrier.S200.XY產(chǎn)品特⾊
• 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um；
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm；
• *⼤負載 500 g；
• 針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決⽅案；
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)選件升級
Carrier.S200.XY ⼤范圍壓電掃描臺 — 技術參數(shù)
可選版本 ⇨
正常版本
.NM 絕對⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本 ;
.UHV ，超⾼真空版本；
1 底⾯尺⼨*⾼度
180 mm × 150 mm × 20 mm
2 主體材料
鋁合⾦
3 中空透孔
80 mm × 60 mm
4 運動⾏程
200 um × 200 um
5 閉環(huán)分辨率
優(yōu)于1nm
6 推薦*⼤負載
500 g
7 閉環(huán)傳感器
電容式
8 電容精度
0.3 nm
9 壓電電容(X, Y)
6.5 uF
15 到 40 攝⽒度
10 推薦使⽤溫度
11 質量
1 kg
12 安裝
螺紋孔⾃動兼容 Carrier.L7550.XY
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