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大范圍壓電掃描臺(tái)Carrier.L7550.XY

產(chǎn)品型號(hào)：

Carrier.L7550.XY

品牌：

卓立漢光

價(jià)格電議,您可以向供應(yīng)商詢價(jià)得到該產(chǎn)品價(jià)格

所在地：

北京通州區(qū)

更新日期：

2024-07-04

詳細(xì)信息

室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)⽅案 —“Carrier. 系列“ 大行程載物臺(tái) — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征

產(chǎn)品特⾊

• XY ⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm

• *⼩步伐尺⼨約20 nm

• *⾼速度 20 mm/s

• 閉環(huán)傳感，空間分辨率 100 nm / 10 nm

• 全⾏程運(yùn)動(dòng)中，保證通孔 85 mm × 65 mm

• ⽀持⽆磁 ( .NM ) & 超⾼真空 ( .UHV )

• 主體鋁合⾦(硬質(zhì)氧化發(fā)⿊)

2D ·尺⼨圖

Carrier.L7550.XY ⼤范圍壓電掃描臺(tái) — 技術(shù)參數(shù)

可選版本 ⇨	正常版本	.NM	.HV	.UHV
.NM 絕對(duì)⽆磁版本； .HV，⾼真空版本 ; .UHV ，超⾼真空版本；
1 運(yùn)動(dòng)⽅向	X Y
2 外形尺⼨	250 mm × 200 mm × 30 mm
3 必須安裝空間	325 mm × 250 mm
4 有效穿孔	85 mm × 65 mm
5 主體材料	鋁合⾦
6 線纜 & 接頭	標(biāo)準(zhǔn)屏蔽線纜 DSub9 接頭		kapton漆包線， PEEK-2mm插針
7 ⼯作溫度	10 – 40 °C
運(yùn)動(dòng)參數(shù)-空間推薦安裝形式 I. (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測(cè)得)
8 運(yùn)動(dòng)⾏程	75 mm × 50 mm
9 *⼤速度	~ 20 mm/s
10 *⼩步伐	~ 30 nm
11 驅(qū)動(dòng)頻率	Max. 20 kHz (超安靜運(yùn)動(dòng))
12 *⼤負(fù)載	2 kg
13 全⾏程俯仰/偏擺	0.8 mrad
傳感精度
14 位置傳感類型	- 電阻型傳感( .R ) - 光柵尺傳感( .O )
	75 mm × 50 mm
15 位置傳感量程
	- 電阻型傳感( .R )， 100-200 nm - 光柵尺傳感( .O )， 10 nm， 1nm可選(默認(rèn) 10nm)
16 位置傳感分辨率