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.NM

.HV

.UHV

NM，    絕對⽆磁版本；

.HV，     ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1        底⾯尺⼨*⾼度

25 × 25 mm × 8 mm

2        主體材料

不銹鋼

純鈦

不銹鋼

不銹鋼

3        線纜 & 接頭

標準屏蔽線纜

DSub9 接頭

kapton漆包線，

PEEK-2mm插針

運動參數-空間推薦安裝形式 I.  (下列性質均在推薦安裝形式下測得)

4        運動⾏程

8 mm

5        *⼤速度

~ 20 mm/s

6        *⼩步伐

⼩于 15 nm

7        驅動頻率

Max. 20 kHz   (超安靜運動)

8        *⼤⽔平推⼒

2 N

9        保持⼒

5 N

0.3 mrad / 0.2 mrad

10       全⾏程俯仰/偏擺

運動參數-空間推薦安裝形式 II.  (下列性質均在推薦安裝形式下測得)

11

*⼤垂直負載

2 N

12

保持⼒

5 N

傳感精度

13

位置傳感類型

- 電阻型傳感( .R )

14

位置傳感量程

8 mm

15

位置傳感分辨率

~ 150 nm