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  • DVID-C系列專用平臺

    產(chǎn)品型號： DVID-C系列
    品  牌： zolix
      價格電議,您可以向供應(yīng)商詢價得到該產(chǎn)品價格
    所 在 地： 北京通州區(qū)
    更新日期： 2024-07-04
    詳細(xì)信息
    DVID-C系列專用平臺

     

    		   特點(diǎn)：
    ● 作為半導(dǎo)體FAB用，可在Class 1潔凈的室內(nèi)環(huán)境中使用。
    ● 所有材料均用不銹鋼制作，可防腐蝕或退色問題
    ● 安裝有防靜電裝置與能夠保持潔凈室內(nèi)空氣潔凈度的集中排氣回收器具
    ● 為減少潔凈室內(nèi)空氣阻力使用打孔結(jié)構(gòu)的上板
    ● 打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能夠積塵的縫隙或彎曲部位

    技術(shù)指標(biāo)：
    ● 固有頻率: 1.2Hz ~ 2.0Hz
    ● 隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95%
    at 20Hz : 85% ~ 98%
    ● 水平復(fù)位精度 : ±0.1㎜
    ● 靜負(fù)載 : 500Kg
    用途：
    ◆探針臺 ◆顯微鏡 ◆Mask ◆aligner
    ◆A.F.M ◆S.T.M ◆薄膜厚度形狀測定儀
    ◆其它半導(dǎo)體相關(guān)檢驗(yàn)裝備    		   ● 自重 : 150 ~ 250Kg
    ● 材料 : 支架及頂部：不銹鋼 頂蓋：不銹鋼
    ● 工作氣源 : 3~5Kgf / cm2壓縮空氣或瓶裝液氮
    ● 阻尼形式:孔式空氣阻尼
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